描述:
離子源IS 40C1是一個(gè)緊致,易用的提取類型的離子槍,主要用于樣品表面清潔。該源生成的離子電流大于70微安每平方厘米(氬氣),該離子電流具有高斯光束的輪廓。離子源的插入深度可根據(jù)個(gè)人要求調(diào)整(62.5mm-384.5之間)。
特征:
使用惰性氣體(Ar)和活性氣體(O2, H2,碳?xì)浠衔?,使用活性氣體會(huì)縮短離子源壽命
高離子束電流
長(zhǎng)壽命
高穩(wěn)定性
可選項(xiàng):
氣體計(jì)量系統(tǒng)
定制的插入長(zhǎng)度
線性移位
技術(shù)數(shù)據(jù):
安裝法蘭 DN40CF(不可旋轉(zhuǎn))
能量范圍 0.12keV - 5keV
電流密度 > 120uA /cm2 (30mm的距離)
屏蔽 銅,不銹鋼(針對(duì)活性氣體)
陰極類型 銥(鍍氧化釔涂層)
半峰寬度 (FWHM)取決于離子能量和工作距離(例如,工作距離為30mm時(shí),為3mm)
典型工作距離 30 – 250mm
烘烤溫度 可達(dá)250攝氏度
工作壓力 10-5 - 10-6 mbar
IS40C1電源
描述:
適配器驅(qū)動(dòng)IS40C1離子源,該離子源廣泛用于高真空樣品清洗和準(zhǔn)備。電源允許通過數(shù)字編碼器對(duì)束能量和離子密度進(jìn)行微調(diào),
所有設(shè)置可以手動(dòng)調(diào)節(jié),可以被存儲(chǔ),開機(jī)后,會(huì)自動(dòng)喚醒這些設(shè)置。該設(shè)備還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。通過USB端口輕松更新固件。可以通過RS232/485或者以太網(wǎng)界面遠(yuǎn)程控制。該裝置具有自動(dòng)保存功能(設(shè)備保存您的參數(shù),預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用)
可選項(xiàng):
1.用于真空測(cè)量的模擬I/O卡(1表)
2.離子源控制應(yīng)用
技術(shù)數(shù)據(jù):
電源電壓 100 - 240 V, 50-60 Hz,
離子束能量(E) 0.00 - 5 keV, 分辨率 0.01 keV, 紋波 < 0.2 mV
發(fā)射電流(le) 0.01 - 10 mA, 分辨率0.01 mA
定時(shí)器 雙模定時(shí)器0秒-99小時(shí)59分
真空測(cè)量(可選) CTR90, TTR91, TTR211, PTR225,
PTR90, ITR90, ITR100, Baratron,
ANALOG IN, MKS937A, PG105,
MG13/14, PKR251/360/361,
PCR280, ATMION
通信接口 RS232/485, Ethernet
通信協(xié)議 MODBUS-TCP
用戶界面 7英寸TFT顯示屏,帶觸摸屏,數(shù)字編碼器
界面語(yǔ)言 英語(yǔ),德語(yǔ),波蘭語(yǔ)
尺寸 483 x 133 x 437毫米(寬×高×深),19英寸可安裝機(jī)架
重量(大約) 9.2kg
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