束流槍（FS40A1）及配套電源

• 
• 

束流槍                                                                                              

1.描述：                                                                                                           

   FS 40A1 FLOOD SOURCE是一個(gè)低成本的電子束流源，在絕緣體或者半導(dǎo)體的XPS/AES和SIMS應(yīng)用中，可用作電荷中和。電子束流有兩個(gè)能量范圍。軟件控制，插入腔室的深度可以定制（145 -421mm或者其他長(zhǎng)度）還可以定制防護(hù)罩材料，例如,μ金屬，銅等。

2.特征：  

?? 高電子光束電流

??可選的能量范圍

??電子束流很穩(wěn)定

??可以控制電子束流輪廓

3.選項(xiàng)：

?? 線性平移

??可定制插入深度

??源屏蔽材料（μ-金屬或者銅）

4.技術(shù)數(shù)據(jù)：

安裝法蘭：                          DN  40  CF（不可旋轉(zhuǎn)）

能量范圍：                          0.01-1000eV

陰極類型：                         鎢(釷涂層)

屏蔽：                                 銅(適用μ金屬腔室)或者μ金屬（適用于不銹鋼腔室）

插入深度：                          

                                          外徑: 33.6mm (μ金屬)，35mm(銅)

FWHM(半峰寬度)                  取決于工作距離

                                          (例如工作距離為30mm時(shí)，半峰寬度為10mm)

典型工作距離：                     20-100mm

工作壓力：                           小于5×10-6mbar

束流槍電源：

描述：

  FS40-PS電源允許微調(diào)所有儀器參數(shù)，以實(shí)現(xiàn)較寬范圍的束流輪廓;不需要額外的電子設(shè)備。所有可調(diào)參數(shù)都顯示在大尺寸TFT顯示屛（觸摸屏）上。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)節(jié)或者被儲(chǔ)存，待該裝置上電后，自動(dòng)喚醒。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。

  FS40-PS可以獨(dú)立安裝，也可以安裝在19英寸機(jī)架上?？梢赃h(yuǎn)程控制，也可以使用模擬接口遠(yuǎn)程控制電子束能量，發(fā)射電流，聚焦和提取電壓。

  該設(shè)備具有自動(dòng)保存功能（可以保存已經(jīng)設(shè)置的參數(shù)，設(shè)備重啟后無(wú)需重新設(shè)置）

應(yīng)用：

  FS40-PS電源用作FS40A1電子束流槍的電源，在XPS/AES和SIMS應(yīng)用中，中和樣品表面的異性電荷。

技術(shù)數(shù)據(jù)：

電源電壓：                                                          100 - 240 V, 50-60 Hz

電子束能量（低能范圍）：                                      0.01 - 50 eV,

                          分辨率0.01 eV  

電子束能量（高能范圍）：                                      50 - 1000 eV,

   分辨率 0.1 eV

發(fā)射電流：                                                    1 - 1000 μA, 分辨率 0.1 μA

聚焦電壓 ：                                                   300 - 1000 V, 分辨率 0.1 V

Extractor voltage(提取器電壓) ：                          0 - 150 V, 分辨率 0.1 V

模擬輸入：                                                             4（0-10V）

計(jì)時(shí)器 ：                                                         雙模式計(jì)時(shí)器0 s - 99 h 59 m

通信接口：                                                         RS232/485, Ethernet

通信協(xié)議：                                                               MODBUS-TCP

用戶界面：                                                        7英寸TFT顯示屏，帶觸摸屏，

界面語(yǔ)言：                                                           英語(yǔ)，德語(yǔ)，波蘭語(yǔ)

尺寸：                                                          483 × 133 × 435 mm (W×H×D),

                    19英寸機(jī)架安裝 or 單獨(dú)安裝

重量（大約）：                                                              5.2kg