射頻等離子體發(fā)射譜分析儀（RES-Moduli）

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應(yīng)用于射頻等離子體測(cè)量及過程控制

射頻發(fā)射譜分析儀可以方便的放置于等離子體真空腔室外，直接監(jiān)測(cè)到等離子體發(fā)射出的射頻信號(hào)及諧波變化。該儀器設(shè)計(jì)用來進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)、等離子體狀態(tài)監(jiān)控、故障診斷等，而無需對(duì)射頻線路進(jìn)行任何介入式的安裝方式；尤其針對(duì)小面積刻蝕的終點(diǎn)檢測(cè)，具有優(yōu)異的表現(xiàn)，同時(shí)也可被用來檢查氣體泄露、晶圓錯(cuò)位、工藝故障導(dǎo)致的的等離子體變化等。射頻信號(hào)的接收天線可置于觀察窗、匹配器附近或者任意有射頻信號(hào)泄露的地方即可開始檢測(cè)。

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