真空殘余氣體分析儀（RGA）

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殘余氣體分析儀RGA是一款小巧、方便、實用的四級桿質(zhì)譜分析儀，主要用于：

* 真空系統(tǒng)本底狀態(tài)鑒定

  在系統(tǒng)達(dá)到極限真空時測定殘余氣體的種類和量值

* 真空系統(tǒng)污染監(jiān)測和控制

  清洗介質(zhì)殘留,返油（碳?xì)浠衔铮?/span>,表面放氣（空氣, H2O,   O2, CO, CO2）

  通過軟件中的標(biāo)準(zhǔn)氣體庫,可確定氣體成分.

* 真空工藝監(jiān)控

  - 在線監(jiān)控:實時反映工藝異?；蚱?/span>

  - 數(shù)據(jù)按時間自動存儲（SOD文件）以便

    日后追溯進(jìn)行工藝分析

  - 繼電器輸出可用于控制閥門

  - 模擬輸出可連線PLC

* 鍍膜工藝研究開發(fā)

  各種工藝氣體的相對比例對工藝/產(chǎn)品的影響

* 等離子體研究

  等離子體放電過程中氣體成分變化

  
RGA的選用 

 電子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10^-14~10^-15 Torr

* 質(zhì)量數(shù)（AMU）

    取決于需要探測的氣體

    100AMU傳感器 探測范圍: 1-100AMU

     200AMU傳感器 探測范圍: 1-200AMU

     300AMU傳感器 探測范圍: 1-300AMU

    絕大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用僅需100AMU傳感器 

* 工作壓強(qiáng)范圍

    - 標(biāo)準(zhǔn)RGA: < 5 x 10^-4 Torr

    - 高壓強(qiáng)型: < 1 x 10^-2 Torr，需另配真空系統(tǒng)