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朗繆爾探針系列

Langmuir

離子能量分析儀

RFEA

射頻VI探測(cè)器

VI Probe

射頻異常探測(cè)器

Arc Sensor

等離子體測(cè)量光譜儀

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等離子體處理/清洗

Henniker

高溫爐系列

Deltech

殘余氣體分析

RGA

真空多軸機(jī)械臂&傳動(dòng)裝置

Vacuum multi axis robotic arm

離子槍&電子槍&其它

Ion gun&electron gun&others

射頻負(fù)載

RF Dummy Load

射頻發(fā)射譜分析儀

RF Emission Spectrometer

射頻電源校準(zhǔn)系統(tǒng)

發(fā)布日期：2019-05-14 09:08 瀏覽次數(shù)：436

射頻電源校準(zhǔn)系統(tǒng)由高級(jí)射頻VI功率計(jì)、Dummy Load假負(fù)載及相關(guān)配套組成，用于監(jiān)測(cè)射頻輸出的頻率、功率、電壓、電流、相位、阻抗、史密斯圓圖等，用于驗(yàn)證射頻電源輸出功率的準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、重復(fù)性等。



項(xiàng)目

RF-Cal 射頻電源校準(zhǔn)/測(cè)量/監(jiān)控系統(tǒng)

1

高級(jí)射頻VI功率計(jì)

測(cè)量頻率：400 KHz,3W-12KW

2 MHz,3W-12KW

13.56 MHz,3W-12KW

27.12 MHz,3W-12KW

60 MHz,3W-12KW

頻率：可在400K-121M之間任意選定5個(gè)。

測(cè)量精度：≦1%

射頻接頭：可定制

2

射頻同軸電纜

LC-Male to LC-Male，1米，或者定制

3

Dummy Load 射頻負(fù)載：

10KW水冷負(fù)載

額定功率：10KW

阻值: 50+/-2歐姆

射頻接頭：可定制

4

顯示儀表：

便攜平板式手提電腦，交流220V50Hz可用，帶鋰電池，安裝軟件可自動(dòng)識(shí)別sensor并顯示射頻參數(shù)。

5

射頻接頭配件包：

N,HN,LC, 7/16DIN,, SQS（公母頭）



北京艾蘭科技有限公司

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