天線(xiàn)形狀

[40 mm x 40 mm x 40 mm] & 定制

天線(xiàn)通信

2 x SMA 同軸線(xiàn)

采集單元電源適配器

24 Vdc, 0.5 A, 4.1 mm 公頭

采集單元接口

Micro USB, Serial, Ethernet

采集單元協(xié)議

USB, HTTP Web Service, EtherCAT, Ethernet/IP Others on request

采集單元形狀

[122 mm x 70 mm x 41 mm]

連接方式 (Impedans Software)

USB 2.0, Ethernet

通信協(xié)議 (Standard)

USB 2.0, HTTP Web Service

通信協(xié)議 (OEM Options)

EtherCAT, EtherNet/IP, Serial, RS232

參數(shù)報(bào)告速率(Standard)

可調(diào); USB up to 500 S/s, Ethernet up to 100 S/s

采集單元脈沖同步

外部同步: TTL input

內(nèi)部同步: Software level trigger

基頻范圍

350 kHz - 100 MHz or 40 kHz - 400 kHz

諧波頻率(FN) 范圍

350 kHz - 500 MHz or 40 kHz - 2 MHz

諧波頻率 (FN)

≤ 15 per fundamental (64 max.), ≤ 32 simultaneously

每個(gè)頻率輸出參數(shù)

V & I [不校準(zhǔn)], 相位, 諧波

射頻脈沖輪廓描繪

1 微秒分辨率

脈沖內(nèi)檢測(cè)

監(jiān)控脈沖內(nèi)的兩個(gè)點(diǎn)[standard software],

監(jiān)控脈沖內(nèi)任意個(gè)點(diǎn)[使用API]

射頻脈沖范圍

10 Hz to 100 kHz

附加功能

射頻波形重建

電壓通道范圍

任意 [可調(diào)節(jié) gain]

電流通道范圍

任意 [可調(diào)節(jié) gain]

相位范圍和分辨率

[僅當(dāng)V和I通道被鎖定時(shí)可用]

+/-180 度， 0.02 度分辨率

諧波相位范圍和分辨率

+/-180 度， 0.02 度的分辨率

晶圓移位探測(cè)

等離子體阻抗監(jiān)控

漏氣和氣體污染探測(cè)

工藝重復(fù)性

硬件老化檢測(cè)

匹配器故障等