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在線射頻異常探測(cè)器（Arc Sensor）

發(fā)布日期：2024-12-20 20:46 瀏覽次數(shù)：

Alfven 100是一款先進(jìn)的一體化的診斷儀器，用于等離子體工藝過程中的放電異?，F(xiàn)象檢測(cè)。

Alfven能夠以1us的分辨率進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量，因此它即可用于檢測(cè)和表征Arc，同時(shí)還可以監(jiān)測(cè)每一個(gè)射頻脈沖，以檢查每個(gè)脈沖是否符合預(yù)先的設(shè)定。 Arc和射頻脈沖缺失可能導(dǎo)致晶圓缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和監(jiān)測(cè)的必要工具。

配置

探頭特性阻抗

 50 Ohms as standard

接頭類型

 QC, EIA and custom options

適用功率范圍@ 50 歐姆阻抗

 Standard: 12 kW typical

 (connector dependent)

 High Power: 30 kW & 90 kW

工作溫度范圍

 10 - 80 degC

供電

 15-24 V DC, 0.5 A

通信接口

 Micro USB, RJ45x2

連接 (自帶軟件)

 USB 2.0, Ethernet

通信協(xié)議 (Standard)

 USB 2.0, HTTP Web Service

通信協(xié)議(OEM 選用)

 EtherCAT, EtherNet/IP

參數(shù)報(bào)告速率

 10 Samples/second

主板數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

 14 hours of average data plus up to 

 5000 typical pulse or arc events


監(jiān)測(cè)電壓電流參數(shù)  

電壓范圍 (典型)

 0.3 to 3000 VRMS

電壓分辨率

 0.1 VRMS

電流范圍

 2.5 mARMS to 25 ARMS

電流分辨率

 2.5 mARMS

電壓&電流精度

 Uncalibrated

     Arc & Pulse 監(jiān)測(cè)                                   

Arc持續(xù)時(shí)間

 1 μs to 5000 μs

Arc幅值范圍 

 1% to 100% change

Arc分類 

 9

Pulse頻率范圍

 5 Hz to 100 kHz

脈沖分級(jí)監(jiān)測(cè)

 Upto 3 levels 

脈沖時(shí)間分辨率

 1 μs

脈沖參數(shù)監(jiān)測(cè)

Pulse frequency, Duty cycle (of each pulse level), Average, Max & min voltage and Current 

可設(shè)置程序步驟數(shù)

 40 steps max

      


010-88134534