常壓朗繆爾探針可用于常壓條件下等離子體參數(shù)的測試,升級的雙探針系統(tǒng)可保證常壓測量下數(shù)據(jù)的準確性,如:
等離子體密度(Ni):108 to 3x1014 cm-3
離子電流密度(Jp):1uA/cm2 -30mA/cm2
電子溫度(kTe):0.1 to 15eV
德拜長度(Ld)
另可配備水冷系統(tǒng),用于3000度以內的高溫等離子體環(huán)境中。
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