自動(dòng)化朗繆爾探針（ALP）

• 

自動(dòng)化朗繆爾探針系統(tǒng)-(ALP) System?提供了一種測(cè)試等離子體參數(shù)的關(guān)鍵的基礎(chǔ)的診斷工具。

Impedans朗繆爾探針系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱ALP系統(tǒng)）可以對(duì)主要的等離子體參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)：

•     等離子體密度

•     電子溫度

•     離子電流密度

•     等離子體電位

•     懸浮電位

•     電子能量分布函數(shù)（EEDF）

探針設(shè)計(jì)

ALP系統(tǒng)可對(duì)直流、脈沖直流、微波和射頻等離子體進(jìn)行診斷測(cè)試。標(biāo)準(zhǔn)探針軸的長(zhǎng)度為300mm，也可根據(jù)需求延長(zhǎng)至1.4m。嵌入式的探頭固定裝置能夠有效防止在探針采集區(qū)域由于濺射導(dǎo)電層引起的增量。

簡(jiǎn)單適宜的探頭固定設(shè)計(jì)使得探頭的更換十分容易。標(biāo)準(zhǔn)探針材料為鎢，也可由鉬、鉑、因瓦合金等制成。根據(jù)用戶要求，我們可定制不同長(zhǎng)度、直徑、材料和形狀的探 針，同時(shí)分析軟件的升級(jí)也相當(dāng)簡(jiǎn)便。

雙探針

雙探針可針對(duì)接地情況不佳的現(xiàn)場(chǎng)加以應(yīng)用，可用于RF/pRF和DC/pDC等環(huán)境。并可測(cè)得高密度等離子體。 

 探頭清潔 

作為標(biāo)準(zhǔn)配置，自動(dòng)清潔功能使得清潔探頭更加容易，尤其對(duì)于沉積等離子體特別有用。ALP系統(tǒng)的應(yīng)用軟件可支持自動(dòng)清潔和手動(dòng)清潔雙重操作.

 時(shí)間分辨測(cè)量

一種高速的“高級(jí)廂車”模式可以很大地提高時(shí)間分辨測(cè)量的分辨率，時(shí)間間隔低至12.5ns。此模式可支持的觸發(fā)頻率高達(dá)1MHz，同時(shí)一種內(nèi)置的可調(diào)時(shí)間間隔的程序亦可對(duì)探針測(cè)量進(jìn)行時(shí)間閘控。

空間分布測(cè)量

使用自動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（最小步階0.1mm）能將朗繆爾探針深入到等離子體腔室的不同位置中，在探針?biāo)_(dá)位置，可測(cè)得附近等離子體的參數(shù)，繪制出各個(gè)參數(shù)不同空間位置的變化趨勢(shì)圖。

直流補(bǔ)償

一種新穎的預(yù)掃描模式可以排除對(duì)直流補(bǔ)償電極的需求，在探針消耗不同電流時(shí)，能檢測(cè)到IV特征曲線中電壓的漂移。亦可確定等離子體的對(duì)地電阻，同時(shí)加以適當(dāng)?shù)男拚?/span> 

射頻補(bǔ)償

探針桿由陶瓷制成，使得探針對(duì)等離子體的耦合達(dá)到很好的效果，同時(shí)配以優(yōu)良的射頻濾波，排除射頻對(duì)等離子體測(cè)試的干擾。用戶可自由選擇5個(gè)射頻頻率，我們可以確保這個(gè)5個(gè)頻率的測(cè)試達(dá)到很好的效果。  

 高級(jí)廂車

 80MSPS的采樣速率能夠在當(dāng)前單周期的特定電壓下獲取時(shí)間分辨的全部數(shù)據(jù)，非常大的降低了死時(shí)間，在時(shí)間分辨測(cè)量中改進(jìn)了信噪比，確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。

                                                                    ALP軟件示意圖