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朗繆爾探針系列

Langmuir

離子能量分析儀

RFEA

射頻VI探測(cè)器

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等離子體處理/清洗

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殘余氣體分析

RGA

真空多軸機(jī)械臂&傳動(dòng)裝置

Vacuum multi axis robotic arm

離子槍&電子槍&其它

Ion gun&electron gun&others

射頻負(fù)載

RF Dummy Load

射頻發(fā)射譜分析儀

RF Emission Spectrometer

線性驅(qū)動(dòng)裝置（ Linear Driver）

發(fā)布日期：2024-12-20 20:04 瀏覽次數(shù)：

線性驅(qū)動(dòng)裝置用于配合探針對(duì)不同位置的等離子體參數(shù)進(jìn)行空間分布掃描，可輕松得到等離子體參數(shù)的空間狀態(tài)分布。

標(biāo)配驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度為300、450、600、900mm，步階為0.1mm。亦可根據(jù)需求定制不同長(zhǎng)度的驅(qū)動(dòng)裝置。

標(biāo)準(zhǔn)DN40CF的法蘭設(shè)計(jì)使得安裝極其方便，獨(dú)特的波紋管支撐設(shè)計(jì)可確保安裝及操作探針測(cè)量過程中的的安全性。

                                300mm驅(qū)動(dòng)裝置測(cè)量不同空間位置電子密度的分布情況


010-88134534