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朗繆爾探針系列

Langmuir

離子能量分析儀

RFEA

射頻VI探測(cè)器

VI Probe

射頻異常探測(cè)器

Arc Sensor

等離子體測(cè)量光譜儀

OES

等離子體處理/清洗

Henniker

高溫爐系列

Deltech

殘余氣體分析

RGA

真空多軸機(jī)械臂&傳動(dòng)裝置

Vacuum multi axis robotic arm

離子槍&電子槍&其它

Ion gun&electron gun&others

射頻負(fù)載

RF Dummy Load

射頻發(fā)射譜分析儀

RF Emission Spectrometer

朗繆爾平面探針(Plato)

發(fā)布日期：2024-12-20 20:06 瀏覽次數(shù)：

在真空鍍膜尤其是在鍍絕緣材料的環(huán)境中，普通的朗繆爾探針在測(cè)試過程中針尖會(huì)很快被材料覆蓋從而導(dǎo)致測(cè)試失效的問題，Impedans特別研發(fā)了專門用于此惡劣環(huán)境下的平面探針。該探針獨(dú)特的平面探頭結(jié)構(gòu)以及AC電壓的施加方式，可確保測(cè)試在鍍膜厚度50um的條件下正常工作，即使鍍膜厚度超過50um，簡(jiǎn)易的探頭更換設(shè)計(jì)也使得時(shí)間和維護(hù)成本大大降低。


等離子體密度(Ni)：108 to 3x1014 cm-3

離子電流密度(Jp)：1uA/cm2 -30mA/cm2

電子溫度(kTe)：0.1 to 15eV

德拜長(zhǎng)度（Ld）




010-88134534