縱橫比離子能量分析儀Vertex可測量轟擊到表面上的不同角度離子的能量和流量。離子角度用AR(Aspect Ratio)即離子入射的縱橫距離比例表示,該儀器可輕松測量不同縱橫比的離子所具有的能量和流量大小。
系統(tǒng)配置
測量參數(shù):
AR范圍 0.5-20
AR分辨率 0.5
離子能量范圍 0 - 2000eV max
離子流量 0.001 - 700mA/cm2
時間分辨頻率范圍 4Hz to 100 kHz
離子能量分布函數(shù)(IEDF)分辨率 +/- 1eV nominal
RFEA 探測器:
探測器直徑 33mm
底座直徑 標(biāo)準(zhǔn):70mm,100mm(4"),300mm(12") ,或按要求定制其它尺寸
底座厚度 5mm
安裝 探測器與底座一體化安裝
探測器殼體材料l 陽極氧化鋁,不銹鋼,或按要求定制其它材料
探測器底座材料 陽極氧化鋁,不銹鋼,或按要求定制其它材料
底座至腔壁連線長度 標(biāo)準(zhǔn):650mm,可定制其它長度
腔室整體連接裝置:
法蘭型號 標(biāo)準(zhǔn): CF40; 或定制其他型號
電子控制單元
電壓范圍 -600V to +600V (抑制電壓), -2000V to +2000V (柵極掃描電壓)
電流范圍 100pA to 60mA
通訊方式 USB 2.0
軟件
操作系統(tǒng) Windows 7以上
* 由直流偏壓決定
具體配置請參考產(chǎn)品手冊。
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