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縱橫比離子能量分析儀(Vertex)

發(fā)布日期:2024-12-20 20:10 瀏覽次數(shù):

縱橫比離子能量分析儀Vertex可測量轟擊到表面上的不同角度離子的能量和流量。離子角度用AR(Aspect Ratio)即離子入射的縱橫距離比例表示,該儀器可輕松測量不同縱橫比的離子所具有的能量和流量大小。


         

系統(tǒng)配置

測量參數(shù): 

AR范圍                                                                             0.5-20

AR分辨率                                                                         0.5

離子能量范圍                                                                  0 - 2000eV max

離子流量                                                                         0.001 - 700mA/cm2 

時間分辨頻率范圍                                                          4Hz to 100 kHz

離子能量分布函數(shù)(IEDF)分辨率                                +/- 1eV nominal 


RFEA 探測器:

探測器直徑                                                     33mm
底座直徑                                                        標(biāo)準(zhǔn):70mm,100mm(4"),300mm(12") ,或按要求定制其它尺寸

底座厚度                                                        5mm

安裝                                                               探測器與底座一體化安裝

探測器殼體材料l                                            陽極氧化鋁,不銹鋼,或按要求定制其它材料

探測器底座材料                                             陽極氧化鋁,不銹鋼,或按要求定制其它材料

底座至腔壁連線長度                                     標(biāo)準(zhǔn):650mm,可定制其它長度


腔室整體連接裝置:

法蘭型號                                                       標(biāo)準(zhǔn): CF40; 或定制其他型號


電子控制單元

電壓范圍                                                      -600V to +600V (抑制電壓), -2000V to +2000V (柵極掃描電壓)

電流范圍                                                      100pA to 60mA

通訊方式                                                       USB 2.0


軟件

操作系統(tǒng)                                                      Windows 7以上


由直流偏壓決定

具體配置請參考產(chǎn)品手冊。



010-88134534