這是一款專門用于沉積鍍膜過(guò)程中測(cè)量離子效率的工具,Quantum沉積速率能量分析儀除了具備Semion的所有功能,即基礎(chǔ)的離子能量和離子流量測(cè)量功能外,還配備了石英微天平,可用于測(cè)量離子/中性粒子比例和沉積速率。
系統(tǒng)配置
測(cè)量參數(shù):
離子能量范圍 0 - 2000eV max
離子流量 0.001 - 700mA/cm2
時(shí)間分辨頻率范圍 4Hz to 100 kHz
離子能量分布函數(shù)(IEDF)分辨率 +/- 1eV nominal
石英微天平頻率范圍 3.5-6.1MHz
沉積速率分辨率 12.3ng/cm2
膜厚分辨率 0.4nm
數(shù)據(jù)傳輸 1次/秒
RFEA 探測(cè)器:
探測(cè)器直徑 33mm
底座直徑 標(biāo)準(zhǔn):70mm,100mm(4"),300mm(12") ,或按要求定制其它尺寸
底座厚度 5mm
安裝 探測(cè)器與底座一體化安裝
探測(cè)器殼體材料l 陽(yáng)極氧化鋁,不銹鋼,或按要求定制其它材料
探測(cè)器底座材料 陽(yáng)極氧化鋁,不銹鋼,或按要求定制其它材料
底座至腔壁連線長(zhǎng)度 標(biāo)準(zhǔn):650mm,可定制其它長(zhǎng)度
腔室整體連接裝置:
法蘭型號(hào) 標(biāo)準(zhǔn): CF40; 或定制其他型號(hào)
電子控制單元
電壓范圍 -600V to +600V (抑制電壓), -2000V to +2000V (柵極掃描電壓)
電流范圍 100pA to 60mA
通訊方式 USB 2.0
軟件
操作系統(tǒng) Windows 7以上
* 由直流偏壓決定
具體配置請(qǐng)參考產(chǎn)品手冊(cè)。
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