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RFEA離子能量分析儀（Semion）

發(fā)布日期：2019-05-14 09:06 瀏覽次數(shù)：

Semion離子能量&離子流量分析儀用于測(cè)量真空腔室中等離子體的離子能量和離子流量。 

該系統(tǒng)包括減速場(chǎng)能量分析（RFEA）多柵探測(cè)器（又稱(chēng)阻滯場(chǎng)RPA）、腔室整體連接裝置和控制單元及軟件。RFEA探測(cè)器安裝于一個(gè)電極底座上，方便的置于腔室中的任意位置，可在多種等離子源條件下使用，如電容耦合、電感耦合、ECR、DC、微波和遠(yuǎn)程源等。控制單元可提供所有需要的柵極偏壓，軟件可自動(dòng)掃描和控制測(cè)量。. 

                         

該產(chǎn)品的突出特點(diǎn)就是能夠?qū)?span style="font-family: "Microsoft YaHei";">RFEA探測(cè)器置于射頻偏壓表面上，并可以感知偏壓表面的Vdc。Impedans可以將RFEA探測(cè)器底座制作成晶圓大小的尺寸，測(cè)量作用于晶圓表面的離子能量和離子流量的均勻性。      

 

不同尺寸底座探測(cè)器

 

應(yīng)用

 Semion系統(tǒng)在研究和工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用十分廣泛：

  等離子體工藝研究

·    真空鍍膜

·    表面工程

·    半導(dǎo)體

·    太陽(yáng)能/薄膜

           

         RFEA 探測(cè)器安裝于腔室內(nèi)


系統(tǒng)配置

測(cè)量參數(shù)： 

離子能量范圍                                                                  0 - 2000eV max

離子流量                                                                         0.001 - 700mA/cm2 

時(shí)間分辨頻率范圍                                                          4Hz to 100 kHz

離子能量分布函數(shù)（IEDF）分辨率                                +/- 1eV nominal 

RFEA 探測(cè)器：

探測(cè)器直徑                                                     33mm
底座直徑                                                        標(biāo)準(zhǔn):70mm,100mm(4"),300mm(12") ，或按要求定制其它尺寸

底座厚度                                                        5mm

安裝                                                               探測(cè)器與底座一體化安裝

探測(cè)器殼體材料l                                            陽(yáng)極氧化鋁，不銹鋼，或按要求定制其它材料

探測(cè)器底座材料                                             陽(yáng)極氧化鋁，不銹鋼，或按要求定制其它材料

底座至腔壁連線長(zhǎng)度                                     標(biāo)準(zhǔn)：650mm，可定制其它長(zhǎng)度

腔室整體連接裝置：

法蘭型號(hào)                                                       標(biāo)準(zhǔn)： CF40； 或定制其他型號(hào)

電子控制單元

電壓范圍                                                      -600V to +600V (抑制電壓), -2000V to +2000V (柵極掃描電壓)

電流范圍                                                      100pA to 60mA

通訊方式                                                       USB 2.0

軟件

操作系統(tǒng)                                                      Windows 7以上

* 由直流偏壓決定

具體配置請(qǐng)參考產(chǎn)品手冊(cè)及致電010-88134534。


010-88134534